инертный носитель

При этом реакционный газ, содержащий химические реагенты, например, моносилан и носитель - инертный газ подают непрерывно в источник реакционного газа (2) от внешнего источника через систему напуска газа.

At this, the reaction gas containing chemical reagents, e.g., monosilane and the carrier—an inert gas, is fed continuously to the source (2) of the reaction gas from an external source through the gas passing system.

http://www.patentlens.net/ 1/4/2012

http://www.patentlens.net/ 1/4/2012